‌清洁与检查‌：定期对真空泵进行清洁，使用干净的布或软刷子清除泵体表面的灰尘和污垢，特别注意进气口和排气口的清洁，避免堵塞。检查泵体的紧固件是否松动，如有松动应及时紧固，防止因振动导致部件损坏。检查油箱内是否干净无积物，建议每隔6个月就清理一次油箱。同时，每年更换一次真空泵油，并检查油质，如果油质变坏，应及时更换。
　　‌润滑油的检查与更换‌：定期检查润滑油的清洁度和油位，确保真空泵运转时油位到油标中心。润滑油应定期更换，一般新真空泵在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，可适当延长换油期限。向轴承体内加入轴承润滑机油，润滑油应及时更换或补充。
　　‌冷却系统的维护‌：定期检查冷却水的流量、温度和压力，确保冷却系统畅通无阻。对于使用冷却剂的低温泵，还需定期检查冷却剂的液位和质量，及时补充或更换。
　　‌密封件的检查与更换‌：定期检查密封件的磨损情况，如有磨损或老化迹象，应及时更换。更换密封件时，应确保安装正确，避免密封不严导致的泄漏问题。检查真空泵管路及结合处有无松动现象，用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。