1、加的真空泵油的牌号和原先的不一样。不同的真空泵油牌号，由于不同牌号油内的饱和蒸汽压不一样,所以其的结果是不一样的。方法:根据产品的型号规格更换正确的新真空泵油。
　　2、被抽气体的温度可能过高。方法:降低被抽气体的温度，或可以加一个相应的换热器。
　　3、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。方法:检查油路是否畅通，并加同类型的真空泵油。
　　4、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情况，就是真空泵油乳化变色,或者过脏。方法:放干净泵内的所有真空泵油，更换同类型的真空泵油，并解决被抽气体中水蒸气和杂质不进入泵内。
　　5、配合的间隙改大。这是长期被抽气体内含有粉尘等，造成旋片和定子之间磨损后的间隙增大。方法:检查间隙是否过大,更换新的零部件。