一、真空泵本身漏气
　　1、密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈；2、气镇阀垫圈损坏，或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；3、排气阀片损坏，密封不好，应更换气阀片；4、真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换；5由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。
　　二、真空泵油有问题
　　1、油位过低，应加足油量到油标中心线；2、油被沾污，油质变坏。应更换新油；3、油的牌号不符，应换规定牌号的真空泵油。4、油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量；应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通；5、进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去；6、转子的弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好；
　　三、真空泵温度太高
　　1、被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内；2、吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换；3、真空泵冷却水流不够。应加大冷却水流量；4、装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。5、因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。6、真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。